PECVD sustav peći
Ovaj proizvod je klizno otvoreni PECVD sustav srednje veličine. Ovaj PECVD sustav cijevne peći opremljen je plazma RF napajanjem, trosmjernim sustavom za miješanje plina masenog protoka (s rasponima od 1-100 SCCM, 1-200 SCCM i 1-200 SCCM), peći s otvorenom cijevi promjera 60 mm (s vakuumskom prirubnicom i spojnim cijevima) i mehaničkom pumpom.
Informacije o proizvodu
| Model proizvoda | Sustav klizne PECVD cijevne peći——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Glavni parametri proizvoda | Napajanje: 220V 50/60Hz; Nazivna snaga: 3,1 kW; Maksimalna radna temperatura: 1200°C (<0,5 h); Kontinuirana radna temperatura: ≤1100°C; Preporučena brzina zagrijavanja: ≤10°C/min; Dužina zone grijanja: 440mm; Termopar: K-tip |
| Glavne značajke | RF napajanje može postići poboljšanje plazme i značajno smanjiti eksperimentalnu temperaturu; brz porast i pad temperature može se postići klizanjem tijela peći; napetost filma može se kontrolirati frekvencijom RF napajanja; stehiometrija se može kontrolirati podešavanjem procesa; mogu se taložiti različiti materijali kao što su SiOx, SiNx, SiOxNy i (a-Si:H) |
| Grijaći element | Žica od legure željezo-krom-aluminij 0Cr21Al6Nb |
| Veličina cijevi peći | Promjer kvarcne cijevi opcijski: Φ60 |
| Sustav kontrole temperature | Uključuje regulator temperature YD858; PID kontrola i podešavanje samopodešavanja, inteligentna 50-segmentna programibilna kontrola, s funkcijama alarma za prekomjernu temperaturu i izgaranje; točnost kontrole temperature: ±1℃ |
| Plazma RF napajanje | 300W RF napajanje; Izlazna snaga: 0~300W podesiva; RF frekvencija: 13.56MHZ; Automatsko podudaranje; Razina buke < 50dB; Način hlađenja: Hlađenje zrakom; Ulazni napon: 180~250V |
| Sučelje prirubnice za vakuumsko brtvljenje | Standardna konfiguracija: par vakuumskih prirubnica od nehrđajućeg čelika i visokotemperaturni silikonski brtveni prstenovi; izlazne prirubnice su trostruke prirubnice K16, KF25 i Φ8.2; izlazna prirubnica može se spojiti na KF25 adapter s mijehom, a zatim na vakuumsku pumpu. |
| vakuumska pumpa | Usvojite mehaničku vakuumsku pumpu s dvostrukom rotirajućom lopaticom TRP-12; stupanj vakuuma može doseći 10-2 torra; pribor za vakuumsko spajanje opremljen je KF25 stezaljkama i mijehom od nehrđajućeg čelika za spajanje cijevne peći i vakuumske pumpe |
| Sustav opskrbe plinom | Trosmjerni sustav miješanja protoka mase - GYS-3Z; Napajanje: 220V 50/60Hz; Rasponi mjerenja: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Mehanički mjerač tlaka ugrađen je na prednju ploču i spojen na cijev za miješanje; Raspon manometra: -0,1-0,15MPa; Veličina spremnika za miješanje: Φ80*120 mm; Unutarnja spojna cijev je Φ6,35 |
| Struktura peći | Tijelo peći se može pomicati lijevo i desno, a RF napajanje može se pomicati lijevo i desno. Tijelo peći i RF napajanje instalirani su na istu kliznu tračnicu i koriste istu kvarcnu cijev. |
| Standardi certifikacije i temeljne komponente | Osnovne komponente cijelog stroja u skladu su s CE, UL, MET i drugim certifikacijskim standardima; osnovne komponente uključuju ABB električne komponente, UL certificirane žice i kabele, Omega, Yudian, Continental instrumente itd. |
Kontaktirajte nas
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. osnovana je 2015. godine. To je profesionalno poduzeće koje razvija i proizvodi ultra lagane energetski štedljive visokotemperaturne materijale te prodaje eksperimentalne električne peći, industrijske električne peći i nestandardne prilagođene električne peći. Profesionalno PECVD sustav peći Proizvođači i PECVD sustav peći TvornicaTvrtka se pridržava načela "opstanak kroz kvalitetu, razvoj kroz ugled" i podržava poslovnu filozofiju "praktičnosti, integriteta i učinkovitosti". Posvećeni smo pružanju sveobuhvatnih i visokokvalitetnih rješenja za opremu za kupce u industrijama kao što su keramika, metalurgija, elektronika, staklo i kemijsko inženjerstvo. Također pružamo usluge kao što su prženje praha, sinteriranje keramike i visokotemperaturni eksperimenti sveučilištima, istraživačkim institutima te industrijskim i rudarskim poduzećima. Istovremeno, nastojimo promovirati strateški razvoj Nengchengovih laganih, energetski štedljivih i ekološki prihvatljivih visokotemperaturnih aluminijevih vlakana u području novih peći te težimo postati međunarodno vodeći pružatelj naprednih usluga u industriji visokotemperaturne opreme. PECVD sustav peći Prilagođeno.
Najnovije vijesti
-
Uvod u Vakuumska toplinska obrada Vakuumska toplinska obrada je napredni metalurški proces koji se koristi za poboljšanje mehaničkih svojstava i trajnosti industrijskih komponenti. Zagrijavanjem materijala u vakuumskom okruženju, oksidacija i onečišćenje su svedene na minimum, što rezultira preciznim i dosljednim performansama materijala. Ova tehnika se naširoko primjenjuje u industrijama kao što su zrakoplovstvo, automobilska industrija, proizvodnja alata i elektronika. Pobol...
