PECVD cijevna peć
PECVD cijevna peć je sustav cijevne peći za taloženje plinske faze u plazmi, koji se sastoji od kvarcne reakcijske komore, radiofrekventnog napajanja, višekanalnog sustava za miješanje plina, vakuumske jedinice i sustava za kontrolu reakcije. Peć koristi materijal od aluminijevih vlakana visoke čistoće, a površina je presvučena uvezenim visokotemperaturnim premazom od aluminijevog oksida kako bi se produžio vijek trajanja instrumenta i poboljšala učinkovitost grijanja. Radiofrekvencijski indukcioni uređaj instaliran je ispred tradicionalnog kemijskog taloženja iz pare za ionizaciju reakcijskog plina i stvaranje plazme. Visoka aktivnost plazme ubrzava reakciju. Ima dobru ujednačenost i ponovljivost, može formirati filmove na velikom području, može formirati filmove na niskim temperaturama, ima izvrsnu pokrivenost koraka i lako je kontrolirati sastav i debljinu filma i lako ga je industrijalizirati. Naširoko se koristi u rastu tankih filmova kao što su grafen, silicij monoksid, silicij nitrid, silicij oksinitrid i amorfni silicij (A-SI: H).
| Veličina cijevi peći (MM) | Radna temperatura (°C) | Stupanj vakuuma | Snaga (KW) | Napon | Grijaći elementi | Stopa zagrijavanja |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Otporna žica | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Osnovna struktura a Vakuumska peć Vakuumska peć se sastoji od nekoliko integriranih sustava dizajniranih za rad u kontroliranim uvjetima niskog tlaka. Struktura jezgre uključuje vakuumsku komoru, sustav grijanja, izolacijski sklop, jedinicu vakuumske pumpe i sustav upravljanja. Svaka komponenta ima posebnu ulogu u održavanju stabilnog toplinskog i atmosferskog okruženja tijekom toplinske obrade. Vakuumska komora obično je izrađena od nehrđajućeg čelika ili ugljičnog čelika i dizaj...
