PECVD cijevna peć
PECVD cijevna peć je sustav cijevne peći za taloženje plinske faze u plazmi, koji se sastoji od kvarcne reakcijske komore, radiofrekventnog napajanja, višekanalnog sustava za miješanje plina, vakuumske jedinice i sustava za kontrolu reakcije. Peć koristi materijal od aluminijevih vlakana visoke čistoće, a površina je presvučena uvezenim visokotemperaturnim premazom od aluminijevog oksida kako bi se produžio vijek trajanja instrumenta i poboljšala učinkovitost grijanja. Radiofrekvencijski indukcioni uređaj instaliran je ispred tradicionalnog kemijskog taloženja iz pare za ionizaciju reakcijskog plina i stvaranje plazme. Visoka aktivnost plazme ubrzava reakciju. Ima dobru ujednačenost i ponovljivost, može formirati filmove na velikom području, može formirati filmove na niskim temperaturama, ima izvrsnu pokrivenost koraka i lako je kontrolirati sastav i debljinu filma i lako ga je industrijalizirati. Naširoko se koristi u rastu tankih filmova kao što su grafen, silicij monoksid, silicij nitrid, silicij oksinitrid i amorfni silicij (A-SI: H).
| Veličina cijevi peći (MM) | Radna temperatura (°C) | Stupanj vakuuma | Snaga (KW) | Napon | Grijaći elementi | Stopa zagrijavanja |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Otporna žica | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Obloga peći rijetko dolazi do kvara jer je peć dosegla nemoguću temperaturu. Obično ne uspije jer je vatrostalni materijal odabran za pogrešnu mješavinu topline, kemije, opterećenja i toplinskog ciklusa. Simptomi su poznati: pucanje na vrućoj površini, otvoreni spojevi, korodirana sidra i školjka koja mjesecima tiho troši plin ili struju. Kratak odgovor: odaberite vatrostalni materijal za peć prvo prema načinu kvara, zatim prema temperaturi, a treće prema cijeni. Kera...
